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說到真空泵機(jī)組發(fā)生內(nèi)漏現(xiàn)象的話，我們其實也就是要注意它大多也就是會發(fā)生在有水冷套的一個設(shè)備上。說到真空泵機(jī)組發(fā)生內(nèi)漏現(xiàn)象，其實也就是在我們檢查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是就其機(jī)械泵的抽速上其實也就是會明顯偏低，還有就是其真空計示值比較低或者是機(jī)械泵油很快乳化。

如果發(fā)現(xiàn)真空泵機(jī)組中的真空室內(nèi)的鐵基零部件上會明顯銹蝕的現(xiàn)象的時候。基本可以確定它發(fā)生了內(nèi)漏的現(xiàn)象。這個時候，要注意應(yīng)該要先把內(nèi)壁進(jìn)行清理干凈，接下來，要通冷卻水，看它有沒有無濕潤點，它的濕潤處就是它的漏點。

真空泵機(jī)組小漏和微其實也就是比較難查，常用的方法是要利用它在高真空狀態(tài)下電離管對于某些氣體反應(yīng)敏感來進(jìn)行檢漏。比較常見是指丙酮或者是乙醇，可以用醫(yī)用注射器直接的就向可疑的地方進(jìn)行噴射丙酮或者是乙醇，當(dāng)噴到漏點的時候，我們就會發(fā)現(xiàn)對于電離計的指針上會有比較明顯的擺動。

用這種方法對真空泵機(jī)組進(jìn)行檢漏一定的要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了之后，就這個方面來講的話，我們就是會發(fā)現(xiàn)它在抽氣能力與漏率上其實也就是會實現(xiàn)了平衡，接著可以實現(xiàn)噴射。

對于真空泵機(jī)組較大的漏點，可以直接的就用火焰法，利用氣流來直接的就使火焰進(jìn)行偏離的原理，要注意應(yīng)該先要抽上真空，接下來的話，要用蠟燭或者是打火機(jī)在真空泵機(jī)組可疑點附近進(jìn)行逐步查尋。