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(1)在較寬的壓力的范圍內(nèi)有很大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子都具有優(yōu)良的幾何圖形對稱性，故震動小，運作穩(wěn)定。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和外殼間均有空隙，無需潤滑，摩擦損失小，可大幅度降低驅(qū)動功率，進而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可降低油蒸氣對真空系統(tǒng)的環(huán)境污染；

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)類型簡潔明了、緊密，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。